一、設備名稱:YX-Z6型 硅單晶定向粘接及晶向復檢儀
二、設備概述:
用途:YX-Z6系列定向粘接設備,是一款集定向、粘接及復檢功能于一體的高精度、高自動化程度的自動定向粘接設備。是專門用來在切割前的定向、設備可根據用戶的需求,選擇粘接6-12英寸的粘接尺寸,并可兼容6.8英寸,人性的中英文操作界面,方便了用戶與設備的交互,同時操作簡單,對于使用人員的技術要求相對較低。多處重點地區采用了伺服控制系統及絕對值編碼器的全閉環設計,保證了定向精度,儀器具有如下特點: 主要特點: ●高度一體化自動化集成,提供工作效率及產能,降低人工參與產生的誤差。 ●配合現代化智能工廠集成管理,節省人工成本的同時提高產量。 ●采用閃爍探測器,接收效率高,最大線性計數≥5×105CPS,分辨率≤50%。 ●弧形導軌設計,θ,2θ機構伺服電機聯動,精度高,測試速度快,無需校機。 ●采用臺達300系列中型PLC為控制核心,A2系列高精度伺服電機作為驅動系統,設備整體自動化程度高、故障率極低、抗干擾能力強、系統穩定性好。 ●全自動測試,一鍵操作,涂膠后自動完成定向粘接。 ●采用進口高分辨率絕對值編碼器,大大提高測量精度,規避了人工測量的讀數誤差,極大降低了操作者的勞動強度和操作難度。 ●具有峰值放大的特殊積分器,采用高壓模塊器件,提高檢測精度; ●光柵自動控制關閘設計,只在必要時打開,安全方便無隱患; ●全自動激光定位notch,精確度高,重復性好。 ●高精度壓力檢測傳感,實施壓力補償,恒壓控制粘接。 ●全伺服自動定位,位置控制,速度控制精確,效率高。 ●數據可掃碼,可打印實現機臺每根晶棒自帶身份數據。 ●測量數據可通過USB存儲到U盤等移動存儲設備,轉化成Excel也可與DCS集成控制系統對接,實現大數據集中管理。
三、設備技術參數
項 目 |
參 數 |
測量項目 |
6.8.12英寸硅單晶棒 |
測量范圍 |
直徑150-300MM,長度180-460MM,重量20-120KG |
設備用途 |
單晶棒定向準確角度,粘接,復檢 |
NOTCH自動定位 |
具備,光點2um,重復定位誤差10um |
左右軸進出定位 |
手自動,精度0.1mm |
晶棒壓接壓力檢測 |
具備 |
晶棒粘接自動定位 |
具備 |
膠水均勻覆蓋 |
脈沖式粘接 |
X軸擺動角度自動運行 |
具備,精度0.001° |
Y軸轉角角度自動運行 |
具備,編碼器直連或電機直轉(精度0.3°) |
料板自動夾緊 |
氣動夾持,激光測距定位,精度10um |
晶棒限位檢測 |
激光檢測,3mm誤差 |
晶棒Y軸偏離檢測及校正 |
激光檢測,精度2um |
料板限位檢測 |
具備,光電限位 |
X-RAY基準點距離重復動作檢測 |
激光定位,誤差0.005mm |
X-RAY水平垂直角度重復性誤差及精度 |
0.1度 |
測角形式 |
定角度設定,掃描范圍聯動測試 |
入射角顯示形式 |
θ:度、分、秒或度 |
反射角顯示形式 |
2θ:度、分、秒或度 |
聯動時間差 |
10ms內 |
最小讀數 |
1″ |
靜態測量精度 |
±30″ |
樣品峰值測試 |
自動尋峰,算法計算 |
校準 |
校機后免校正 |
峰值顯示 |
uA表 |
多點測量功能 |
具備 |
偏角度測量 |
具備 |
自動計算晶棒粘接數據 |
算法自動計算 |
晶棒粘接復檢綜合精度 |
0.05° |
保存測量結果 |
條碼打印,數據上傳,U盤 |
保護 |
高壓聯鎖保護,溫度保護. |
防護 |
具備 |
控制單元 |
可編程邏輯控制器,觸摸屏 |
電機 |
步進,伺服電機 |
粘接效率 |
40根/24H(粘接時間30分鐘) |
粘接成品率 |
98% |
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